Avantages de l’amplification de l’actionnement piézoélectrique dans les moteurs pas à pas inertiels
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Les actionneurs piézoélectriques pas à pas (SPA) sont des actionneurs piézoélectriques linéaires à longue course capables d’atteindre une longue course (typ. >10mm) avec une résolution importante (typ. <1nm). Il a été proposé d'utiliser un actionneur piézoélectrique amplifié dans un moteur pas à pas inertiel pour construire le SPA. Ce moteur piézo a montré un bon comportement, avec une vitesse relativement élevée (jusqu'à 70 mm/s), une force (de 0,2 N à 20 N) et une faible consommation (jusqu'à 700 mW).