APA100M - amplified piezo actuator

Isolation vibratoire d’un objet étendu

19 juin 2023

Un nombre croissant d’applications exige un très haut niveau de précision : fabrication de semi-conducteurs, microscopie à force atomique, microscopie à balayage, machines-outils, etc. Une telle précision ne peut être atteinte que dans des environnements très stables. La procédure standard consiste à monter l’équipement sensible sur une lourde platine isolante, parfois appelée table optique, qui peut être passive ou active.

Isolation vibratoire d’un objet étendu

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Un nombre croissant d’applications exige un très haut niveau de précision : fabrication de semi-conducteurs, microscopie à force atomique, microscopie à balayage, machines-outils, etc. Une telle précision ne peut être atteinte que dans des environnements très stables. La procédure standard consiste à monter l’équipement sensible sur une lourde platine isolante, parfois appelée table optique, qui peut être passive ou active.