Miroirs bimorphes segmentés pour l’optique adaptative : conception de segments et expérience

Cet article traite d’un concept de miroir bimorphe segmenté léger pour l’optique adaptative. Le segment est constitué d’un substrat de silicium monocristallin actionné par un réseau d’actionneurs piézocéramiques (PZT) dans le plan avec des électrodes en nid d’abeille. L’article se concentre sur les aspects technologiques de la conception du segment qui sont essentiels pour les applications spatiales et décrit un démonstrateur de segment unique. La capacité de morphing du segment est évaluée expérimentalement. L’article traite également des déformations locales (fossettes) associées à la forme des électrodes agissant sur le réseau PZT.